金融界2025年1月31日音讯,国家知识产权局信息数据显现,北京精雕科技集团有限公司请求一项名为“一种晶圆衬底定位设备”的专利,公开号CN 119381327 A,请求日期为2024年10月。
专利摘要显现,本发明触及晶圆出产设备范畴,供给一种晶圆衬底定位设备,包含:设备主体、纠偏组件和调整组织,纠偏组件包含纠偏设备架、旋转盘和纠偏传感器,纠偏设备架设备于设备主体,旋转盘滚动衔接于纠偏设备架,旋转盘用于放置待定位的晶圆衬底,纠偏传感器设备于纠偏设备架,纠偏传感器用于获取晶圆衬底与旋转盘转轴的中心偏差值,晶圆衬底的中心与旋转盘的旋转中心连线与旋转盘的预设方位的视点偏差值以及晶圆衬底的加工凹槽与旋转盘的预设方位的方位偏差值;旋转盘根据视点偏差值滚动晶圆衬底;调整组织设备于设备主体,调整组织和纠偏组件相对设置,调整组织根据中心偏差值移动晶圆衬底;旋转盘再根据方位偏差值滚动晶圆衬底。
天眼查资料显现,北京精雕科技集团有限公司,成立于1994年,坐落北京市,是一家以从事研讨和实验开展为主的企业。企业注册本钱12000万人民币,实缴本钱11000万人民币。经过天眼查大数据分析,北京精雕科技集团有限公司共对外出资了25家企业,参加招投标项目252次,知识产权方面有商标信息18条,专利信息409条,此外企业还具有行政许可65个。